Functional Coatings Equipment
产业升级的智能引领
Model X — 定制型真空镀膜机
Model X 是纳狮定制系列真空镀膜系统,基于纳狮 SPARK 平台设计,集成蒸发镀、多弧离子镀、溅射/HiPIMS、PeCVD 等多种等离子体技术,适合研发型柔性生产与工艺开发。
设备可定制腔体尺寸、复合等离子体技术与膜厚监控系统,支持溅射、多弧复合镀膜工艺,可实现 DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列。
Model X 兼顾大型设备小型化与新应用技术开发,覆盖钙钛矿、复合集流体、SALD 原子沉积等前沿方向,可制备超润滑、吸光高反、高温氧化、电磁屏蔽、耐磨装饰镀、元素沉积、绝缘导电等功能涂层。
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核心优势
多镀膜工艺集成
溅射、多弧、PeCVD 等复合工艺,可实现 DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列。
大型设备小型化
工具镀、光伏、光学设备柔性制造,适合研发与中试。
新应用技术开发
覆盖钙钛矿、复合集流体、SALD 原子沉积等前沿方向。
总部——嘉兴工厂
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成都分公司
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