Introduction
Model X 是纳狮面向科研与工艺开发推出的定制型真空镀膜机,基于 20 年真空镀膜技术研发经验,提供真空涂层中心筹建、系统集成、工艺定向开发与终身维保的一站式服务。
通过可调式磁场设计确保更高靶材利用率、更快弧斑跑动速度、更高离化率与更小液滴,实现无液滴高光弧、HiPIMS、JVD 大功率等多种前沿技术,沉积多组分、多结构、非晶态等涂层体系。
Model X 是纳狮面向科研与工艺开发推出的定制型真空镀膜机,基于 20 年真空镀膜技术研发经验,提供真空涂层中心筹建、系统集成、工艺定向开发与终身维保的一站式服务。
通过可调式磁场设计确保更高靶材利用率、更快弧斑跑动速度、更高离化率与更小液滴,实现无液滴高光弧、HiPIMS、JVD 大功率等多种前沿技术,沉积多组分、多结构、非晶态等涂层体系。
溅射、多弧、PeCVD 等复合工艺,可实现 DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列。
工具镀、光伏、光学设备柔性制造,适合研发与中试。
覆盖钙钛矿、复合集流体、SALD 原子沉积等前沿方向。
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