Model X

Model X 是纳狮定制系列真空镀膜机(试验/研发型),基于纳狮 SPARK 平台设计,集成蒸发镀、多弧离子镀、溅射/HiPIMS、PeCVD 等多种等离子体技术。

设备可定制腔体尺寸、复合等离子体技术与膜厚监控系统,适合研发型柔性生产与涂层工艺开发,支持溅射、多弧复合镀膜工艺,可实现 DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列。

覆盖钙钛矿、复合集流体、SALD 原子沉积等新应用方向,可制备超润滑、吸光高反、高温氧化、电磁屏蔽、耐磨装饰镀、元素沉积、绝缘导电等功能涂层。

Introduction

Model X 是纳狮面向科研与工艺开发推出的定制型真空镀膜机,基于 20 年真空镀膜技术研发经验,提供真空涂层中心筹建、系统集成、工艺定向开发与终身维保的一站式服务。

通过可调式磁场设计确保更高靶材利用率、更快弧斑跑动速度、更高离化率与更小液滴,实现无液滴高光弧、HiPIMS、JVD 大功率等多种前沿技术,沉积多组分、多结构、非晶态等涂层体系。

核心优势

多镀膜工艺集成

溅射、多弧、PeCVD 等复合工艺,可实现 DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列。

大型设备小型化

工具镀、光伏、光学设备柔性制造,适合研发与中试。

新应用技术开发

覆盖钙钛矿、复合集流体、SALD 原子沉积等前沿方向。

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Correlation Technology

Correlation Component

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