Model R-CX300

Model R-CX300 是面向固态电池研发与中试的真空卷绕镀膜设备，用于锂金属负极及氧化物/硫化物涂层的开发。

支持多模块源（蒸发/磁控/离子束可更换），可沉积 LiPON、LLZO、Al₂O₃、TiO₂、Nb₂O₅、Li₆PS₅Cl（LPSCl）、Li₃PS₄ 等多种电解质与保护层材料。

走膜张力控制 ±0.5N，支持惰性气氛与手套箱对接，蒸发功率 10-50kW，真空度 ≤5×10⁻⁵Pa，幅宽 300mm（可扩展至 600mm）。