新一代阴极电弧技术
纳狮M系列PVD真空镀膜系统是甚于纳狮SPARK© 平台设计，具有CVC© （连续可变阴极技术)和 UFC©(超精细阴极技术）专利的电弧阴极关键技术的一款产品。SPARK© 平台具有
高度的灵活性，是业界最可靠的生产输出之一。多种等离子体技术可以在一台设备上复合使用。
基于超过 20 年的持续运行和改进，Naxau 已经开发了一种专利的等离子体刻蚀技术 SET© 和 CET© 。在镀膜之前，对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化的界面，对于成功的涂层结果至关重要。刻蚀需要去除表面污染物，如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面，打开分子链，促使涂层过程中离子键结合。
纳狮的 SET© 和CET© 技术在镀膜过程中也可作为气体等离子体源使用。对于用于工具的 M 系列 PVD 涂层设备，SET© 和 CET© 技术可以使工具涂层的硬度提高 30% 以上。
Advantages:
- Improved target utilization (up to 30%)
- Enhanced magnetic-field system, thus increased deposition rate
- Quick cathode exchange
ETCHING TECHNOLOGIES APPLIED:
- Lateral Glow Discharge
- Plasma etching with argon, glow discharge
- Metal ion etching (Ti, Cr)
LOAD AND CYCLE TIMES:
- Max. coating volume [mm]: ø68 x H800
- Max. coating height with defined coating thickness: 800mm
- Max. load: 800kg
- 3-4 batches/day
MODULAR CAROUSEL SYSTEMS:
- Dual-rotation kicker carousel or triple-rotation gearbox system
SOFTWARE:
- Simple use and maintenance
- Modern control system with touch screen
- Data recording and real-time display of process parameters and flow
- Manual and automatic process control
- Remote diagnostics and maintenance
MACHINE DIMENSIONS:
- Footprint [mm]: L4545 x W2200 x H2522
DOWNLOAD:
P系列刀工具镀膜机
>M450
>M600
M850
有效尺寸[mm]
D450x450
D680x600
D680x850
承重[kg]
300
500
800
杆状刀具装载和镀膜时间(2um)：
φ10 x 70mm
462pcs, 4h
1,200pcs, 6h
1,680pcs, 8h
刀片装载数量和镀膜时间(3um)：
φ20 x 5mm
3,100pcs, 4h
6,800pcs, 6h
12,000pcs, 8h
滚齿刀装载数量和镀膜时间(5um)：
φ80 x 100mm
28pcs, 5h
72pcs, 6h
96pcs, 8h
PVD 技术
CVC® or UFC®
CVC ® or UFC®
CVC ® or UFC®
刻蚀技术
SET® or CET®
SET® or CET®
SET® or CET®
阴极数量
4
6
12
涂层种类
TiN,TiCN,CrN,Cr2O3,TiO2,AlTiN,
AlCrTiN, TiSiAlN, AlCrN, etc.
TiN,TiCN,CrN,Cr2O3,TiO2,AlTiN,
AlCrTiN, TiSiAlN, AlCrN, etc.
TiN,TiCN,CrN,Cr2O3,TiO2,AlTiN,
AlCrTiN, TiSiAlN, AlCrN, etc.
占地面积D*W*H (mm)
4600x2000x2000
4600x2300x2300
4600x2300x2500