规格
- 均一度：±15%
- 涂层时间：1H
- 薄膜：TiN、TiAlN、AlCrN、TiAl SiN、AlCr SiN等。
- 脉冲直流偏压
- 平面和圆弧
- 专用高温加热器：60KW
- 最大载荷：800Kg
- 轴：12轴
- 涂层区：ф680 x 850H
M系列生产能力（样品）
| Model | INSERT | ENDMILL | |
| SPCN12 | D7.6 x L45 | D7.6 x L65 | |
| M850 | 3,024 pcs | 576 pcs | 432 pcs |
| M600 | 6,720 pcs | 1,440 pcs | 1,200 pcs |
规格
- 均一度：±15%
- 涂层时间：1H
- 薄膜：TiN、TiAlN、AlCrN、TiAl SiN、AlCr SiN等。
- 脉冲直流偏压
- 平面和圆弧
- 专用高温加热器：60KW
- 最大载荷：500Kg
- 轴：8轴
- 涂层区：ф680 x 600H
Hybrid coating equipment for high volume (Ion source, Sputter, Arc)
Specification
- Uniformity : ± 15%
- Cycle time : 5-7Hr
- Film : TiN, CrN, TiAlN, DLC, etc.
- High Temp. Heater : 60KW
- Max Load : 1,000Kg
- Axes : 10 spindles
- Coating Zone : ф 900 x 2,000H
C系列定制镀膜机
Ceramic and heater block coating machine.
Specification
- Uniformity : ± 10%
- Cycle time : 4-6Hr
- Film : TiN, alpha coating
- Pulsed DC Bias
- Planar & Rotary Sputter
- Ion gun etching
- Special High Temp. Heater : 36KW
- Max Load : 300Kg
- Axes : 6 spindles
- Coating Zone : ф 460 x 400H
