낙소 PVD/DLC 진공 코팅 장비-IE
01 DLC의 게임 종류 #
DC(다이아몬드 같은 탄소) 类金刚石碳涂层, 一种SP3（金刚石结构）和 SP2（石墨结构）或与氢, 硅, 氟和金属等元素杂化的人工材料。DLC是碳膜材料的统称, 그것은具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦、电绝缘等多种特性, 그것의各异化的性能就决于结构核的比例和配位核心元素类。
DC구에는 부분 금석의 특성이 있으며 산업에서 사용되는 많은 금속 재료가 필요합니다. 기계 장비에서 가장 일반적으로 사용되는 자체 윤활층입니다.
- a-C = 无氢非晶碳膜
- a-C:H = 含氢非晶碳膜
- ta-C = 四面体无氢非晶碳膜
- ta-C:H = 四面体含氢非晶碳膜
- a-C:X = 元素掺杂无氢非晶碳膜
02 DLC 층의 적용 및 특성: 낙소 코팅 #
DLC는 SP3, SP2 및 원소를 조정하여 다양한 제어 기능 계층을 구현할 수 있습니다.
- 高硬度：2000HV-6000HV
- 低摩擦系数（0.02-0.2）
- 高耐腐蚀性 (增加厚度、增加打底層可以显著提升耐腐蚀性)
- 对基材的附着力强
- 耐微动性
- 粘合耐磨性
- 干磨损条件下的自润滑
- 约10 ~100-6 Ω 绝缘 또는 유도, 통상적으로 포함 氢dlc 绝缘
03 DLC 상시 신청: DLC 상시 신청 #
- 铝、铝合金、粉末冶金合金加工刀具
- 金属成型模具、橡胶模具、塑料注塑模具
- 내구성, 내구성, 우수한 탈부착성 및 내충격성, 항균성, 내마모성, 내충격성, 내충격성, 내마모성, 내마모성, 내충격성, 내마모성, 내충격성
- 液压部件--气缸、活塞杆、齿轮泵、导向环、顶杆
- 阀门组件--球体、门闸、球阀、执行机构
- 汽车零部件--曲轴、凸轮轴、齿轮、轴承、活塞环、挺杆、腕销、喷油器
- 泵部件--叶轮、扩散器、转子
- 机械轴封
- 零件绝缘
- 高端黑色外观装饰镀--表框、智能手环等穿戴设备
04 DLC 레벨 준비 #
PeCVD는 다양한 유형의 DLC 층을 생성할 수 있습니다. 일반적인 DLC 층의 두께는 1~2㎛, ta-C는 0.5㎛ 이하이므로 DLC 층이 손상되거나 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.
纳狮P시리즈DLC 真空镀膜机다층 증착 및 층간 증착을 통해 10μm 이상의 초박막 DLC 복층을 구현할 수 있으므로 DLC 수명과 결합력이 크게 향상되며, 250℃ 이하의 낮은 온도에서 PACVD는 다양한 비도전 및 전도성 재료(纳狮PACVD镀膜设备, 所沉积涂层含有大约70%的无定形sp3键, 可沉积超硬的ta-C층)를 사용할 수 있지만 HIPIES 기술은 Ta-C의 층 경도를 한 단계 향상시킬 수 있습니다.
纳狮 PACVD具有许多优点：
- 无液滴，无须后期抛光
- 可在金属, 非金属, 塑料, 碳化硅陶瓷等多种基材上沉积
- 유효 900mm 높이에서 우수한 내후성 유지
- 可使用气体工艺和超纯石墨靶，实现不同沉积需求。
- 双离子刻蚀技术，清洁, 擦洗 또는 溅射清洁产品表面，并提高涂层与基材的附着力에 사용
纳狮P系列真空镀膜机基本参数如下如下：
| P850 | P1200 | P1600 | |
| 等离子体有效尺寸[mm] | D680x850 | D680x1200 | D800x1600 |
| 承重[kg] | 500 | 800 | 1200 |
| PVD 기술 | CFS , PECVD | CFS , PECVD | CFS , PECVD |
| 刻蚀技术 | SET | SET | SET |
| 阴极数量 | 4 | 4 | 6 |
| 镀膜时间[h] | 10-12h | 10-12h | 10-12h |
| 층 경도[hv] | 1200-2500 可调 | 1200-2500 可调 | 1200-2500 可调 |
| 粗糙度라[음] | ＜0.05 | ＜0.05 | ＜0.05 |
| 划痕结合力[N] | ＞30，＞20 | ＞30，＞20 | ＞30，＞20 |
| 涂层种类 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, Mo2 등 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, Mo2 | Cr+W-C:H+a-C:H, Cr+WC-C:H, GLC, Al-Sn-Cu, Mo2 |
| 占地面积D*W*H (mm) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2300 | 4600x2300x2500 |
其它：：
05 DLC 손상 테스트 #
표면 손상을 기반으로 표면을 강화하거나 재질을 더 단단하게 선택하면 DLC 층 손상이 줄어듭니다. 그 효과는 고속-고강도 기반(고경도 재질이 층을 지원), 손상은 2.O x 10입니다.-8 mm3/N-m
06 DLC와 CrN 층압 모델링 기능 비교 #
DLC 층과 CrN 층은 2000HV 왼쪽에서 오른쪽으로 높은 경도를 가지고 있습니다. 모델링 테스트 중, 100개 이전 테스트에서: 다음과 같습니다.
CrN+층은 손상되지 않았지만, 공작물이 손상되었습니다. 국부적으로 모형 제작이 자주 필요합니다.
DLC 층은 석묵 층이 비정상적으로 낮은 마모도를 가지며, CrN+와 파일도 손상되지 않습니다.
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