ナクソー・PVD/DLC真空コーティング装置-IE
産業用アップグレード装置
産業高度化における知的リーダーシップ
PシリーズDLC真空成膜装置
製品とプロジェクト
Naxau P-Series PVD真空蒸着装置は、CVC（Continuously Variable Cathode）とUFC（Ultra Fine Cathode）アークカソードのキーテクノロジーを特徴とするNaxau SPARKプラットフォーム上に設計されています。
柔軟性が高く、業界で最も信頼性の高い生産出力の1つです。1台の装置で複数のプラズマ技術を複合可能
- APCアーク技術に基づく
- SETエッチング技術
- 多層ナノコンポジット構造コーティングのめっき速度の向上
Pシリーズ・スタンダード DLC真空コーティング装置
| P850 | P1200 | P1600 | |
| プラズマの有効サイズ[mm］ | D680x850 | D680x1200 | D800x1600 |
| 耐荷重 [kg］ | 500 | 800 | 1200 |
| PVD技術 | CFS ® 、 PECVD | CFS ® 、 PECVD | CFS ® 、 PECVD |
| エッチング技術 | セット® | セット® | セット® |
| カソード数 | 4 | 4 | 6 |
| コーティング時間 [h］ | 10-12h | 10-12h | 10-12h |
| コーティング硬度［hv］ | 1200-2500 | 1200-2500 | 1200-2500 |
| 粗さ Ra[um］ | ＜0.05 | ＜0.05 | ＜0.05 |
| 拘束力 - スクラッチ[N］ | ＞30，＞20 | ＞30，＞20 | ＞30，＞20 |
| コーティングタイプ | Cr+W-C:H+a-C:H、Cr+WC-C:H、GLC、Al-Sn-Cu，MoS2など。 | Cr+W-C:H+a-C:H，Cr+WC-C:H，GLC，Al-Sn-Cu，MoS2 | Cr+W-C:H+a-C:H，Cr+WC-C:H，GLC，Al-Sn-Cu，MoS2 |
| フットプリントDWH (mm) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2300 | 4600x2300x2500 |
SETプラズマ強化技術の構成により、C2H2、CH4などの炭素源ガスの解離が容易になり、低摩擦係数、高硬度、低a-C:H、a-C:Si DLCコーティングおよびWCCコーティングの調製が容易になる。
特殊性
- 窒化物および炭化物膜作製用4マグネトロンスパッタリングカソード
- 非平衡閉磁場も設定可能。蒸着コーティングには高密度、低エネルギーのボンバードメントイオンを使用し、コーティング密度が高く、柱状結晶構造が少なく、内部応力が低い。
- より速い成膜速度を持つ炭素膜のためのイオンビーム増強PECVD技術
- 垂直ローディング、より便利な製品ローディング
- 高性能UBMスパッタリングソース
- フィラメント・アルゴン・イオン・エッチング・ソース
- ターボ分子ポンプ*2
ハードウェア
- ドイツPCインテリジェント・システムズ
- タッチスクリーンコントロール
- プロセスパラメータとフローのデータロギングとリアルタイム表示
- 自動プロセス制御
- 遠隔診断とメンテナンス
- デジタル管理システムへのアクセス
高度にカスタマイズ可能なDLCメンブレンシステム - 調整可能なパラメータ
自然界で最も硬い物質はダイヤモンド（sp3結合）であり、グラファイト（sp2結合）は最も柔らかい物質の一つである。DLCはsp3結合とsp2結合が混在したダイヤモンド状のアモルファスカーボン基材であり、SP3結合が多いほどDLCは硬くなり、その反対は柔らかくなる。DLCコーティングは通常、高硬度、自己潤滑性、耐食性、絶縁性、光吸収性などの作業条件に使用される。より多様な機能要求を実現するために、Si、F、B、W、Taなどの他の元素をドーピングすることで、超潤滑、耐高温性、付着防止、応力低減など、さまざまな目的を実現することができる。
スパッタリングコーティング 産業用途
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射出スクリュー - 射出成形金型コーティング- 涂层方案氮化铬｜镜面氮｜DLC｜铝化钛
表面硬度：2000HV コーティング厚さ：0.01～0.02mm耐磨耗性：0.01～0.02mm：耐食性: ★★★★★ 耐食性: ★★★★★ 耐食性抗粘着性: ★★★★★：適用作業条件：高速、高圧、粘着性のある材料;トランスパ...
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CVDコーティングサービス
- カタログCVDコーティングサービス
CVDは耐熱性の高い素材に限られ、PVDコーティングと同様、コーティングの接合を確実にするため、基材の表面は平滑で、油分や錆がないことが求められる。,
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光吸収、耐高温サーメットコーティング
- 機能的0.88吸光度｜700℃耐性｜Pa-3真空析出なし
Naxau黒色光吸収（赤外線など）ナノコーティングは、700°の高温および光吸収、または絶縁、耐摩耗性、耐腐食性、またはこれらの組み合わせなど、さまざまな特殊な要求の厳しいアプリケーションに使用されます。
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燃料電池バイポーラプレート 非貴金属コーティング
- アプリケーション水素エネルギー｜水素貯蔵｜バイポーラプレート｜貴金属代替
パイロット段階に入ったナクソー・バイポーラプレート保護コーティングは、腐食電位とICR（界面抵抗）の点ですでに業界平均を上回っている。ナノシールドの第2世代水素燃料電池用コ...
ロード...
已经是到最后一篇内容了！」。
接着性を飛躍的に向上させるデュアル・エッチング・テクノロジー。
20年以上にわたる継続的な運用と改良に基づき、Naxauはプラズマエッチング技術SETとCETを開発しました。コーティングを成功させるためには、コーティング前にツール表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングでは、金属酸化物、水蒸気、マイクロオイル、汗屑などの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングは表面を再活性化し、分子鎖を開いてコーティングプロセス中にイオン結合を誘発します。
ターンキー・プロジェクト
ターンキー・プロジェクト
真空成膜装置、成膜プロセス、周辺生産設備の提案、人材育成、工場計画、その他成膜工場量産プログラム全般をワンストップで提供。
ナクソーの真空コーティング装置は、業界で最も信頼性の高い生産出力の一つです。複数のプラズマ蒸着技術を1台の装置で複合化することができます。
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